低温等离子一般用于解决VOC工业废气，是运用高压放电情况下造成的高能电子和离子，溶解有机废气分子结构。高能电子把氧原子转化成2个氧分子，并和氧原子再度融合成活性氧。臭氧是氧化剂，能够空气氧化环境污染物。水分受跃迁转化成羟基自由基，都是氧化剂，同样也可以空气氧化有机化合物。
1、在出现等离子的过程当中，电弧放电所形成的一瞬间高效率能量可以开启一些有害物质分子的机械能，如：氨、氯化氢、甲硫氢、二甲基二硫、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和丁二烯，硫酸盐H2S、VOC类，苯、二甲苯、二甲苯的高分子链构造，使有机化学或无机高分子恶臭味化学物质高分子链分解成化合物分子或没害分子结构；
2、等离子其中包含大量高能电子、正负离子、高自旋颗粒以及具有氧化能力的氧自由基，这种活力颗粒及部分有机废气分子碰撞融合，在静电场影响下，有机废气分子结构处在高自旋。
当有机废气分子结构得到能量高于其分子键平衡的电负性时，有机废气分子的分子键破裂，立即转化成化合物分子或者由单一原子构成得无毒汽体分子结构。
所产生的很多OH、HO2、O等活力氧自由基和还原性很强的O3，能和有害物质分子结构发生化学反应，后形成没害物质；
3、物理作用体现在具备浓差极化集尘器功效。等离子里的很多电子与信息颗粒污染物产生非弹性碰撞并黏附其表面进而使之浓差极化，在静电场影响下，颗粒污染物被集尘极搜集；
4、生物作用体现在具备消毒等功效。原理为：等离子里的正负极颗粒使微生物菌种表层所产生的电磁能剪切应力超过其细胞质界面张力，导致细胞质受到破坏而造成微生物菌种身亡。
